通用ICP光谱仪的接地电阻小于5欧姆, 计算机的接地电阻可防止相互干扰低于 0.25ω 的标准。在使用设备时, 往往要注意电源的变化, 不能长期承受压力或低压工作, 根据数据, 设备在压力下运行, 如果灯管产生大功率发电机的原因过长的蒸发或老化, 管的寿命大大缩短（是正常寿命的五分之～一六分之一）时在低电压下工作时, 电子管长丝温度太低, 电子发射不好, 也容易导致电子排放过早老化材料。另外, 设备运行中的电源电压波动较大, 应注意电源的质量, 这导致高频发电机输出功率不稳定, 对质量有重大影响的测量。ICP光谱仪的测量结果可直接从显示器或打印机, 绘图仪输出读写器, 目前广泛应用于几乎所有的频谱测量、分析和研究, 特别适用于微弱信号、瞬态信号的检测工作。

       ICP光谱仪还可以作为原子转化器，如中空阴极灯作为光源,ICP作为原子雾化器的原子荧光光谱仪。此类仪器不使用以 ICP 为中心的单色仪,即安装多个检测设备(每个元件和检测设备),形成多元素分析系统。ICP作为雾化器的主要优点是雾化器具有高温,一些元件可以很好地雾化,扩散问题已经克服。在计算机控制时,灯电源按顺序排列到空心阴极灯的检测单元(2000次/s),在相应的光电倍增管检测时产生荧光,光电转换的电信号在放大后由计算机处理,并报告元件分析结果。但值得一提的是,以ICP为原子的原子荧光光谱仪对耐火元素的测定不敏感。