ICP光谱仪采用圆孔进光里的非空间光调制光谱仪。使传统的光谱技术验证的根本性的变化，明显改善工作条件，提高效率;使用方便，OMA，频谱分析测量快速、 灵敏度高、 响应时间快、 高分辨谱，测量结果可直接从显示器或打印机、 绘图仪输出读。目前，广泛应用于几乎所有的光谱测量，分析和研究，特别适合于微弱信号，瞬变信号的检测工作。

       ICP光谱仪的软样品（如铜、铝、锌、铅）必须转动表面或用酒精进行湿磨。不得使地面斑点（例如触摸手）。考虑到金属的热上升和冷收缩效应，影响光的稳定性。温度变化会影响仪器的热平衡，并会导致接收器和某些电气部件不稳定。如果温差较大，也会对轻轨产生影响。用于钢和铸铁的 ICP光谱仪（颗粒大小，钢在 60 到 80 之间，铸铁介于 40 和 60 之间），建议使用合适的砂纸进行此仪器样品干磨。

       由于高温等离子体来源异常，ICP光谱仪一般分析方法避免了化学干扰和基板干扰，低于其他光谱分析方法。等离子火焰的温度高于一般化学火焰，使化学火焰的基本雾化和激发难以唤醒，从而有助于确定困难元素。此外，耐火金属氧化物不易在大气中产生，因此阵列元素和共存的影响将不那么明显。即使是吸水电感耦合灯也非常低，校正曲线的线性范围可以达到5-6的水平，在大多数情况下，元件的浓度和测量信号是简单和线性的。因此，在许多情况下，校准解决方案可以手动准备。某些条件可以严格降低参考样品的困难，一般不能使用内部标准方法。