由于高温等离子体来源异常，ICP光谱仪一般分析方法避免了化学干扰和基板干扰，低于其他光谱分析方法。等离子火焰的温度高于一般化学火焰，使化学火焰的基本雾化和激发难以唤醒，从而有助于确定困难元素。此外，耐火金属氧化物不易在大气中产生，因此阵列元素和共存的影响将不那么明显。即使是吸水电感耦合灯也非常低，校正曲线的线性范围可以达到5-6的水平，在大多数情况下，元件的浓度和测量信号是简单和线性的。因此，在许多情况下，校准解决方案可以手动准备。某些条件可以严格降低参考样品的困难，一般不能使用内部标准方法。

       ICP光谱仪的电离干扰较少，虽然样品具有非常轻的电离钾或钠，但参考样品无法与钾或钠的成分相匹配。ICP 光谱仪配备了超过 10 （CCD） 的光子探测器和计算机控制的新型仪器光谱，结合了采集、处理和存储。感谢不再使用乳胶摄影，逃逸和持有黑色，设计和开发后系列和苗条的工作规模，传统频谱技术的根本变化是改善工作条件，提高效率，易于使用，检测速度快，灵敏度高，响应时间快，频谱分辨率高，测量结果可以直接从屏幕或打印机拉出，绘制图形输出读数，广泛用于几乎所有频谱指标、分析而研究，特别适用于检测弱信号和瞬态信号。ICP光谱仪几乎广泛应用于所有频谱的测量、分析和研究，特别是用于弱信号、瞬态信号检测。