ICP光谱仪的软样品（如铜、铝、锌、铅）必须转动表面或用酒精进行湿磨。不得使地面斑点（例如触摸手）。考虑到金属的热上升和冷收缩效应，影响光的稳定性。温度变化会影响仪器的热平衡，并会导致接收器和某些电气部件不稳定。如果温差较大，也会对轻轨产生影响。用于钢和铸铁的 ICP光谱仪（颗粒大小，钢在 60 到 80 之间，铸铁介于 40 和 60 之间），建议使用合适的砂纸进行此仪器样品干磨。
       砂纸不应受到高合金含量样品的污染（例如，应首先用于低合金样品，然后用于高合金样品），样品必须清洁、标准化砂纸研磨（之前未留下任何激励痕迹）激励处理） 测试表面不能抛光（及时更新用过的砂纸），请务必确保样品在研磨过程中不会过热（样品应仅与砂纸有短暂的接触）。如有必要，应用水冷却样品，然后干燥和干燥研磨尽可能短的时间。ICP光谱仪可使工作曲线（校准曲线）与样品中目标元素的"真实浓度"以及分析线对和强度比 （s） 配合。
       如果铁含量变化过大，如高、中合金钢，其效果不容忽视，有必要在样品中使用目标元素="相对浓度"（或="浓度比"）和分析线对和强度比（s）为了适应工作曲线，这是光谱分析的前身所说的"诱导含量法."，如果要分析具有相同工作曲线的高、中、低合金钢，请使用"相对集中"来校正子基质含量。此外，如果要纠正基板内容的影响，还要纠正共存元素的干扰，使用["明显浓度"来拟合工作曲线。