为了保证ICP光谱仪的安全运行, 电源线路必须有足够大的容量, 否则当ICP光谱仪运行过大时, 线路电压降将影响仪器的寿命。作为精密仪器, 它还必须有一个相对稳定的电源, 电源电压不超过十百分之五，超这个范围, 并使用自动电压调节器或磁饱和调节器, 因为电子不能使用稳压器, 高压电子微处理器和相位敏感放大器的运行会导致错误错误。连续正弦波电源, 以确保这些电子电路的正常运行, 仪器电源线需要是单独获得的电力变压器配电盘, 尽可能在大型电机, 大型呼吸机, 空气电处理系统的电压波动很大, 导致不稳定的仪器的工作, 以共享大型电气设备, 如电源线上的马弗炉, 而不是在这些电气设备启动。允许电流超过30安培的设备必须单独接地。

   　通用ICP光谱仪的接地电阻小于5欧姆, 计算机的接地电阻可防止相互干扰低于 0.25ω 的标准。在使用设备时, 往往要注意电源的变化, 不能长期承受压力或低压工作, 根据数据, 设备在压力下运行, 如果灯管产生大功率发电机的原因过长的蒸发或老化, 管的寿命大大缩短（是正常寿命的五分之～一六分之一）时在低电压下工作时, 电子管长丝温度太低, 电子发射不好, 也容易导致电子排放过早老化材料。另外, 设备运行中的电源电压波动较大, 应注意电源的质量, 这导致高频发电机输出功率不稳定, 对质量有重大影响的测量。