ICP光谱仪的工作原理基于高频电感耦合产生等离子体放电的光源来进行原子发射光谱分析。样品在等离子体中被完全蒸发、原子化、电离和激发，发射出所含元素的特征谱线。通过分析这些特征谱线的存在与否和强度，可以鉴别样品中是否含有某种元素（定性分析），并确定相应元素的含量（定量分析）。

ICP光谱仪的主要特点：

1、多元素同时检出能力：ICP光谱仪可同时检测一个样品中的多种元素，一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。

2、分析速度快：试样多数不需经过化学处理就可分析，且固体、液体试样均可直接分析，同时还可多元素同时测定。若用光电直读光谱仪，则可在几分钟内同时作几十个元素的定量测定。

3、选择性好：由于光谱的特征性强，对于一些化学性质极相似的元素的分析具有特别重要的意义。

4、检出限低：一般可达0.1~1ug/g，甚至可达10-9g。用电感耦合等离子体（ICP）新光源，检出限可低至更低数量级。

5、准确度高：用ICP光源时，标准曲线的线性范围宽，可达4~6个数量级，可同时测定高、中、低含量的不同元素。

6、样品消耗少：适于整批样品的多组分测定，尤其是定性分析更显示出独特的优势。

       ICP光谱仪的主要性能指标包括检出限、短时间稳定性、长时间稳定性和仪器分辨率等。这些指标在仪器安装调试时是必需要做的，以确保仪器的准确性和可靠性。