ICP光谱仪还可以作为原子转化器，如中空阴极灯作为光源,ICP作为原子雾化器的原子荧光光谱仪。此类仪器不使用以 ICP 为中心的单色仪,即安装多个检测设备(每个元件和检测设备),形成多元素分析系统。ICP作为雾化器的主要优点是雾化器具有高温,一些元件可以很好地雾化,扩散问题已经克服。在计算机控制时,灯电源按顺序排列到空心阴极灯的检测单元(2000次/s),在相应的光电倍增管检测时产生荧光,光电转换的电信号在放大后由计算机处理,并报告元件分析结果。但值得一提的是,以ICP为原子的原子荧光光谱仪对耐火元素的测定不敏感。  ICP光谱仪是引入了另一个新概念, 非常创新的双向观测技术, 集成了新的变频功率技术, 智能光路交换技术, 在双向观测的基础上, 可以实现光谱线深度处理技术。 

       ICP光谱仪是一种精密的光学仪器，它是一种分光计，将多色的光分解成光谱并记录下来。在可见光和紫外区域，光谱被记录在过去，所以它也被称为光谱图。在红外光谱中，光敏感或热元件点记录的一般使用，是红外光谱仪的名称。现在每个波段都使用光电接收和记录方法，更直接，更敏感，称为“光电记录光谱仪”。为了得到更多的光谱线，分析材料在等离子体火焰中可以被激发，除了光电接收法外，它还配备了一台特殊的计算机来计算材料中每个元素的含量。结果可以在几秒钟内从监视器的屏幕上读取。它有强大的软件分析功能：逐渐采用巫师风格, 易于建立分析方法, 易于完成测量, 学习方便。