ICP光谱仪还可以作为原子转化器，如中空阴极灯作为光源,ICP作为原子雾化器的原子荧光光谱仪。此类仪器不使用以 ICP 为中心的单色仪,即安装多个检测设备(每个元件和检测设备),形成多元素分析系统。ICP作为雾化器的主要优点是雾化器具有高温,一些元件可以很好地雾化,扩散问题已经克服。在计算机控制时,灯电源按顺序排列到空心阴极灯的检测单元(2000次/s),在相应的光电倍增管检测时产生荧光,光电转换的电信号在放大后由计算机处理,并报告元件分析结果。但值得一提的是,以ICP为原子的原子荧光光谱仪对耐火元素的测定不敏感。

       ICP光谱仪的软样品（如铜、铝、锌、铅）必须转动表面或用酒精进行湿磨。不得使地面斑点（例如触摸手）。考虑到金属的热上升和冷收缩效应，影响光的稳定性。温度变化会影响仪器的热平衡，并会导致接收器和某些电气部件不稳定。如果温差较大，也会对轻轨产生影响。用于钢和铸铁的 ICP光谱仪（颗粒大小，钢在 60 到 80 之间，铸铁介于 40 和 60 之间），建议使用合适的砂纸进行此仪器样品干磨。由于高温等离子体来源异常，ICP光谱仪一般分析方法避免了化学干扰和基板干扰，低于其他光谱分析方法。等离子火焰的温度高于一般化学火焰，使化学火焰的基本雾化和激发难以唤醒，从而有助于确定困难元素。