传统频谱技术的基本变化明显提高, 工作条件得到提高, 效率提高, 使用方便, 检测速度快, 灵敏度高, 响应时间快, 分辨率高, ICP光谱仪的测量结果可直接从显示器或打印机, 绘图仪输出读写器。目前广泛应用于几乎所有的频谱测量、分析和研究, 特别适用于微弱信号、瞬态信号的检测工作。ICP光谱仪还可以作为原子转化器，如中空阴极灯作为光源,ICP作为原子雾化器的原子荧光光谱仪。此类仪器不使用以 ICP 为中心的单色仪,即安装多个检测设备(每个元件和检测设备),形成多元素分析系统。ICP作为雾化器的主要优点是雾化器具有高温,一些元件可以很好地雾化,扩散问题已经克服。

       由于高温等离子体来源异常，ICP光谱仪一般分析方法避免了化学干扰和基板干扰，低于其他光谱分析方法。等离子火焰的温度高于一般化学火焰，使化学火焰的基本雾化和激发难以唤醒，从而有助于确定困难元素。此外，耐火金属氧化物不易在大气中产生，因此阵列元素和共存的影响将不那么明显。即使是吸水电感耦合灯也非常低，校正曲线的线性范围可以达到5-6的水平，在大多数情况下，元件的浓度和测量信号是简单和线性的。因此，在许多情况下，校准解决方案可以手动准备。某些条件可以严格降低参考样品的困难，一般不能使用内部标准方法。