由于高温等离子体源异常, ICP光谱仪一般的分析方法可以避免化学干扰和基体干涉, 干扰比其他频谱分析方法低。等离子体火焰的温度高于一般的化学火焰, 使化学火焰的基本雾化和激发难以唤醒, 从而有助于确定难的元素。此外, 在 ar 大气中不易产生难熔金属氧化物, 因此阵列元素和共存的影响将不太明显。自吸电感耦合光源非常低, 修正曲线的线性范围可以达到5-6 的水平, 在大多数情况下, 元素的浓度和测量信号是简单和线性的。因此, 在许多情况下, 可以手动准备校准解决方案。一定的条件可以严格地减少参考样品的难度, 一般不能采用内部标准方法。ICP光谱仪光源的电离干扰较小, 虽然样品中有很轻的电离钾或钠, 但参考样品可能与成分钾或钠不匹配。

      ICP光谱仪是一种非物理光学调制光谱仪，使用圆孔进入光。根据分离原理，分量工具分为：棱镜光谱仪、衍射隔栅光谱仪和傅立叶变换光谱仪。多通道光学分析仪（光学多通道分析仪），配备10 多个光子探测器 （CCDS） 和计算机控制的新型仪器光谱，集采集、处理和存储于一体。感谢不再使用乳胶摄影，逃逸和持有黑色，设计和开发系列和苗条的大小工作，传统频谱技术的根本变化是改善工作条件，提高效率，易于使用，快速检测速度，高灵敏度，快速响应时间，高分辨率，测量结果可以直接从屏幕或打印机，图表仪输出读数，ICP光谱仪是目前广泛用于几乎所有的频谱指标，分析和研究特别适用于检测弱信号和瞬态信号。