ICP光谱仪是一种非物理光学调制光谱仪，使用圆孔进入光。根据分离原理，分量工具分为：棱镜光谱仪、衍射隔栅光谱仪和傅立叶变换光谱仪。多通道光学分析仪（光学多通道分析仪），配备 10 多个光子探测器 （CCDS） 和计算机控制的新型仪器光谱，集采集、处理和存储于一体。感谢不再使用乳胶摄影，逃逸和持有黑色，设计和开发系列和苗条的大小工作，传统频谱技术的根本变化是改善工作条件，提高效率，易于使用，快速检测速度，高灵敏度，快速响应时间，高分辨率，测量结果可以直接从屏幕或打印机，图表仪输出读数，ICP光谱仪是目前广泛用于几乎所有的频谱指标，分析和研究特别适用于检测弱信号和瞬态信号。

       由于高温等离子体来源异常，ICP光谱仪一般分析方法避免了化学干扰和基板干扰，低于其他光谱分析方法。等离子火焰的温度高于一般化学火焰，使化学火焰的基本雾化和激发难以唤醒，从而有助于确定困难元素。此外，耐火金属氧化物不易在大气中产生，因此阵列元素和共存的影响将不那么明显。即使是吸水电感耦合灯也非常低，校正曲线的线性范围可以达到5-6的水平，在大多数情况下，元件的浓度和测量信号是简单和线性的。因此，在许多情况下，校准解决方案可以手动准备。某些条件可以严格降低参考样品的困难，一般不能使用内部标准方法。