ICP光谱仪的电离干扰较少，虽然样品具有非常轻的电离钾或钠，但参考样品无法与钾或钠的成分相匹配。ICP 光谱仪配备了超过 10 （CCD） 的光子探测器和计算机控制的新型仪器光谱，结合了采集、处理和存储。感谢不再使用乳胶摄影，逃逸和持有黑色，设计和开发后系列和苗条的工作规模，传统频谱技术的根本变化是改善工作条件，提高效率，易于使用，检测速度快，灵敏度高，响应时间快，频谱分辨率高，测量结果可以直接从屏幕或打印机拉出，绘制图形输出读数，广泛用于几乎所有频谱指标、分析而研究，特别适用于检测弱信号和瞬态信号。ICP光谱仪几乎广泛应用于所有频谱的测量分析和研究，特别是用于弱信号、瞬态信号检测。

       ICP光谱仪还可以作为原子转化器，如中空阴极灯作为光源,ICP作为原子雾化器的原子荧光光谱仪。此类仪器不使用以 ICP 为中心的单色仪,即安装多个检测设备(每个元件和检测设备),形成多元素分析系统。ICP作为雾化器的主要优点是雾化器具有高温,一些元件可以很好地雾化,扩散问题已经克服。在计算机控制时,灯电源按顺序排列到空心阴极灯的检测单元(2000次/s),在相应的光电倍增管检测时产生荧光,光电转换的电信号在放大后由计算机处理,并报告元件分析结果。但值得一提的是,以ICP为原子的原子荧光光谱仪对耐火元素的测定不敏感。