通用ICP光谱仪的接地电阻小于5欧姆, 计算机的接地电阻可防止相互干扰低于 0.25ω 的标准。在使用设备时, 往往要注意电源的变化, 不能长期承受压力或低压工作, 根据数据, 设备在压力下运行, 如果灯管产生大功率发电机的原因过长的蒸发或老化, 管的寿命大大缩短（是正常寿命的五分之～一六分之一）时在低电压下工作时, 电子管长丝温度太低, 电子发射不好, 也容易导致电子排放过早老化材料。另外, 设备运行中的电源电压波动较大, 应注意电源的质量, 这导致高频发电机输出功率不稳定, 对质量有重大影响的测量。

       ICP光谱仪的软样品（如铜、铝、锌、铅）必须转动表面或用酒精进行湿磨。不得使地面斑点（例如触摸手）。考虑到金属的热上升和冷收缩效应，影响光的稳定性。温度变化会影响仪器的热平衡，并会导致接收器和某些电气部件不稳定。如果温差较大，也会对轻轨产生影响。用于钢和铸铁的 ICP光谱仪（颗粒大小，钢在 60 到 80 之间，铸铁介于 40 和 60 之间），建议使用合适的砂纸进行此仪器样品干磨。由于高温等离子体来源异常，ICP光谱仪一般分析方法避免了化学干扰和基板干扰，低于其他光谱分析方法。等离子火焰的温度高于一般化学火焰，使化学火焰的基本雾化和激发难以唤醒，从而有助于确定困难元素。