通用ICP光谱仪的接地电阻小于5欧姆, 计算机的接地电阻可防止相互干扰低于 0.25ω 的标准。在使用设备时, 往往要注意电源的变化, 不能长期承受压力或低压工作, 根据数据, 设备在压力下运行, 如果灯管产生大功率发电机的原因过长的蒸发或老化, 管的寿命大大缩短（是正常寿命的五分之～一六分之一）时在低电压下工作时, 电子管长丝温度太低, 电子发射不好, 也容易导致电子排放过早老化材料。

       另外, 设备运行中的电源电压波动较大, 应注意电源的质量, 这导致高频发电机输出功率不稳定, 对质量有重大影响的测量。ICP光谱仪还可以作为原子转化器，如中空阴极灯作为光源,ICP作为原子雾化器的原子荧光光谱仪。此类仪器不使用以 ICP 为中心的单色仪,即安装多个检测设备(每个元件和检测设备),形成多元素分析系统。ICP作为雾化器的主要优点是雾化器具有高温,一些元件可以很好地雾化,扩散问题已经克服。

        ICP光谱仪由于高温等离子体来源异常，一般分析方法避免了化学干扰和基板干扰，低于其他光谱分析方法。等离子火焰的温度高于一般化学火焰，使化学火焰的基本雾化和激发难以唤醒，有助于确定困难元素。此外，耐火金属氧化物不易在疤痕环境中产生，因此阵列元素和共存的影响将不那么明显。自吸收电感耦合光源很低，校正曲线的线性范围可达5-6级，在大多数情况下，元件的浓度和测量信号是简单和线性的。因此，在许多情况下，校准解决方案可以手动生产。